座標量測儀的量測誤差

座標量測儀(CMM, Coordinate Measuring Machine, 三次元量測儀、三次元量床、三坐標測量機、三次元測定儀)有關量長度測最大允許誤差定義在：

• ISO 10360-2:2001為 MPE_E (Maximum permissible error of indication of a CMM for size measurement )
• ISO 10360-2:2009為 E_L,MPE (Maximum permissible error of length measurement)

CMM 有關探測系統測誤差定義在：

• ISO 10360-2:2001 為 MPE_P ( Maximum permissible probing error )
• ISO 10360-5:2010 為 P_FTU,MPE (Maximum permissible single-stylus form error)
• ISO 10360-5:2020 為 P_{Form.Sph.1x25:SS:Tact} (Single-stylus form error)
                                    P_{Size.Sph.1x25:SS:Tact}   (Single-stylus size error)
                                    P_{Form.Sph.5x25:j:Tact}    (Multi-stylus form error)
                                    P_{Size.Sph.5x25:j:Tact}      (Multi-stylus size error)
                                    L_{Dia.5x25:j:Tact}              (Multi-stylus location error)
   

E_L,MPE(MPE_E )之檢查

在量測空間任意7種不同的方位，量測一組5種尺寸的塊規(最長的必須超過機台行程的66%)，每種長度的塊規分別量測3次，共105次。所有量測結果必須在製造商宣稱的EL,MPE(MPEE)值範圍内。 假設某機台行程600x600x400(X,Y,Z)，其精度 EL,MPE=3+L/200(μm)，即20mm的標準塊規誤差不得大於3.1 μm，400mm標準塊規的誤差不得大於5 μm。

 P_{Form.Sph.1x25:SS:Tact}(P_FTU,MPE; MPE_P)之檢查

用一精密檢測球，在不同位置平均分布量測25個點，這些點應儘量平均分佈在標準球至少半個球上。量測半徑的最大值減去最小值即為PForm.Sph.1x25:SS:Tact (PFTU,MPE ;MPEP)最大容許探測誤差。這個檢查是用來驗證機台上測頭的誤差，其誤差除了測頭本身的誤差外還包含機台的誤差。

造成量測誤差的主要原因

機台空間精度不良如直角度不佳或未經正確的精度補償。 未定期保養及檢查、任意搬移機台或機台本身變形，致空間精度變差。 人為不當的操作。 環境條件不佳，如溫濕度差異過大，工件熱脹冷縮或工件加工完未經恒溫即量測。